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国家重点研发计划项目“超高分辨激光汤姆孙散射光谱仪“启动暨实施方案论证会顺利召开


发布时间:2024-04-15    来源:    点击量:



4月11日,由韦德游戏网站丁洪斌教授作为首席科学家负责的国家重点研发计划“基础科研条件与重大科学仪器设备研发”重点专项“超高分辨激光汤姆孙散射光谱仪”(2023YFF0714900)项目启动暨实施方案论证会在长春顺利召开。

启动会开幕式由丁洪斌教授主持,吉林省科技厅一级调研员杨景鹏、长春奥普光电技术股份有限公司董事长高劲松、大连理工大学科研院重大项目办副主任张长亮,分别代表项目推荐单位、项目负责单位和项目首席单位致辞。启动会的实施方案论证环节由项目跟踪(责任)专家刘淑芬研究员和雷震霖研究员主持。项目负责人丁洪斌教授进行项目实施方案汇报,五个课题负责人分别对课题实施方案进行了汇报。专家组审阅了相关材料,经过论证、质询,专家组一致同意通过项目实施方案的论证,并就实施方案提出了意见与建议。

该项目总经费2200万元,任务承担单位包括:长春奥普光电技术股份有限公司(项目及课题四,负责单位),大连理工大学(课题一,课题三,负责单位)、中科院长春光学精密机械与物理研究所(课题二,负责单位)、中科院上海光学精密机械研究所(课题五,负责单位)、中科院西安光学精密机械研究所、清华大学、中科院合肥物质科学研究院、核工业西南物理研究院、西安交通大学、大连海事大学10家单位共同承担。项目于2023年12月份正式立项,我校韦德(中国)丁洪斌教授为项目负责人(首席科学家),李聪副教授为课题三负责人,海然副教授为子课题负责人。

背景:

“超高分辨激光汤姆孙散射光谱仪”项目主要研究目标是针对光刻机极紫外光源开发、核聚变能、等离子体薄膜沉积、等离子体表面改性、等离子体生物医学等领域的离子体精密测量诊断需求,突破高效率光源激励、高分辨率光谱仪研制和高抑制比光谱探测等关键技术,开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的超高分辨激光汤姆孙散射光谱仪,开发相关软件和数据库,开展工程化开发、应用示范和产业化推广,为我国EUV光刻机光源的开发、核能研究、新材料制备等提供关键测量诊断支撑,推动各相关领域的发展。

国家“基础科研条件与重大科学仪器设备开发”重点专项的总体目标是加强我国基础科研条件保障能力建设;围绕国家基础研究与科技创新重大战略需求,以关键核心部件国产化为突破口,重点支持高端科学仪器工程化研制与应用开发,研制可靠、耐用、好用、用户愿意用的高端科学仪器,切实提升我国科学仪器自主创新能力和装备水平,促进产业升级发展,支撑创新驱动发展战略实施。

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